파릴 렌 1947 년 맨체스터 대학 연구원에 의해 제조 된 Poly-para-xylylene의 통칭입니다. Union Carbide가 증착 기술을 통해 파릴 렌 박막을 제조 한 후 미군 및 항공 우주 산업에 처음 적용되어 파릴 렌 코팅이 널리 사용되었습니다. 자동차 기상 증착 장비의 개발로 인해 파릴 렌 코팅 자석이 다양한 분야에 속합니다. 가장 일반적인 유형의 파릴 렌은 파릴 렌 N과 파릴 렌 C입니다.
파릴 렌 코팅의 화학 증착 공정
파릴 렌 코팅 자석의 화학 기상 증착 공정은 세 단계로 나눌 수 있습니다.
1 단계 : 고체 di-para-xylene은 섭씨 120도 및 진공 상태에서 기체 상태로 승화됩니다.
2 단계 : Di-para-xylene 가스는 섭씨 650도에서 열분해 반응 후 반응성 단량체로 더 분해됩니다.
3 단계 : 증착 모따기에 들어가서 서로 중합 된 후 자석 표면에 반응성 단량체가 증착됩니다.
Parylene 코팅 자석의 장점
- 일반 표면 처리 기술과 달리 parylene은 소형 자석 및 마이크로 자석에 적합합니다.
- 파릴 렌 코팅 자석은 진공 증착 공정으로 인해 반응성 단량체가 균열에 채워 지므로 핀 구멍이 없습니다.
- 파릴 렌 코팅은 고온에서 우수한 안정성을 가지고 있습니다.
- 파릴 렌 코팅은 또한 우수한 방습 능력을 나타냅니다.
- 파릴 렌 코팅은 일종의 내 화학성 코팅 일뿐만 아니라 생체 적합성 코팅 의료 분야에서의 응용을 보장했습니다.
